便攜式四探針電阻率測(cè)試儀 四探針電阻率測(cè)試儀 四探針電阻率檢測(cè)儀 四探針電阻率測(cè)定儀 型號(hào):KDK-KDY-1A
概述 便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的際及家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定*。 它主要由電器測(cè)量份(主機(jī))及四探頭組成,需要時(shí)可加配測(cè)試架。 為減小體積,本儀器用同塊數(shù)字表測(cè)量電流及阻率。樣品測(cè)試電流由精寬的恒流源提供,隨時(shí)可行校準(zhǔn),以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1~100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量瓿差不過±3%,在此范圍內(nèi)達(dá)到家標(biāo)準(zhǔn)機(jī)的水平。 測(cè)量范圍: 可測(cè)量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。 可測(cè)方塊電阻:0.1~1999Ω/口 當(dāng)被測(cè)材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。 (2)恒流源: 輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔 10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調(diào) 10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調(diào) 恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1% 適合測(cè)量各種厚度的硅片 (3) 直流數(shù)字電壓表 測(cè)量范圍:0~199.9mv 靈敏度:100μv 準(zhǔn)確度:0.2%(±2個(gè)字) (4) 供電電源: AC:220V ±10% 50/60HZ 率8W (5) 使用環(huán)境: 相對(duì)濕度≤80% (6) 重量、體積 重量:2.2 公斤 體積:寬210×100×深240(mm) (7)KD探針頭 壓痕直徑:30/50μm 間距:1.00mm 探針合力:8±1N 針材:TC